GaAs 잉곳의 제조장치
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| 가톨릭관동대학교 산학협력단 | |
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GaAs 잉곳의 제조장치
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| 최규만 | |
| 101303130 | |
| 1020110013132 | |
| 바로가기 주소 | KIPRIS(DOI) https://doi.org/10.8080/1020110013132 |
| 본 발명은 LEC 공정 중 온도구배가 작아질 수 있도록 구조가 개선된 GaAs 잉곳 제조장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 GaAs 잉곳 제조장치는 내부에 공간부가 형성되어 있는 결정성장로와, 공간부에 회전 가능하게 설치되며, 원료가 수용되는 반응 용기와, 반응 용기를 감싸도록 배치되며, 반응 용기를 가열하는 저항 히터와, 저항 히터를 감싸도록 배치되며, 저항 히터를 포함하는 영역을 단열하는 단열유닛을 포함하되, 단열유닛은, 중공의 원통 형상으로 형성되며, 저항 히터를 감싸도록 배치되는 본체와, 원형의 고리 형상으로 형성되며, 본체의 상단부에 결합되는 상부 배플과, 원형의 고리 형상으로 형성되며, 상기 본체의 하단부에 결합되는 하부 배플을 포함한다. |