GaAs 잉곳의 제조방법
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| 가톨릭관동대학교 산학협력단 | |
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GaAs 잉곳의 제조방법
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| 최규만 | |
| 101303129 | |
| 1020110013130 | |
| 바로가기 주소 | KIPRIS(DOI) https://doi.org/10.8080/1020110013130 |
| LEC법에 의하여 EPD가 비교적 작은 고품질의 GaAs 잉곳을 높은 수율로 제조하는 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 GaAs 잉곳의 제조방법은 LEC법을 이용한 GaAs 용융액으로부터의 GaAs 잉곳의 제조방법에 있어서, 상기 GaAs 용융액 중에 도펀트로서 인듐(In)을 더 포함하도록 반응 용기 안에 인듐을 장입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. |