회전식 플라즈마 반응기에 의한 유전체 장벽 방전-광촉매 복합공정용 이산화티탄/산화규소 이중…
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| 강원대학교 산학협력단 | |
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회전식 플라즈마 반응기에 의한 유전체 장벽 방전-광촉매 복합공정용 이산화티탄/산화규소 이중 박막 복합체 및 이의 제조방법
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| 김교선 | |
| 101424100 | |
| 1020120121384 | |
| 바로가기 주소 | KIPRIS(DOI) https://doi.org/10.8080/1020120121384 |
| 본 발명은 회전식 플라즈마 방전식을 이용하여 광촉매인 산화규소/이산화티탄을 유전체에 이중막의 형태로 증착시키고, 각 산화규소 및 이산화탄소의 증착 두께를 조절하는 방법에 관한 것이다. 이중막의 형태로 된 유전체는 종래 이산화티탄 단일막이 코팅된 유전체보다 오염 물질을 동시 제거 할 수 있으며, 높은 제거 효율을 가지고. 상온상압과 같은 조건에서 공정이 가능하다. 또한 유리구(glass beads)에 TiO2/SiOX 이중박막으로 균일하게 코팅하여 이를 광분해 반응에 의한 기체오염물을 효율적으로 제거할 수 있으며, 본 실험에서 사용하는 TiO2 광촉매는 산화력이 커서 향균, 살균 작용 및 악취제거에도 탁월한 기능을 가지고 있으며, 매우 안정한 물질로 인체 및 환경에도 무해한 장점을 가지고 있다. |